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在半導(dǎo)體應(yīng)用中，電氣饋通至關(guān)重要。作為外部環(huán)境與半導(dǎo)體處理腔室內(nèi)的真空或受控氣氛之間的關(guān)鍵接口，電氣饋通在以下幾個(gè)方面發(fā)揮著重要作用。